Yhteenveto
| Kuvaus |
Kryogeeninen DRIE-prosessi. Kuvassa olevat nuolet kuvaavat substraatin pintaan osuvia reagensseja (mustat ympyrät) ja pinnasta irtoavia reaktiotuotteita. Etsausmaskia kuvataan sinisellä värillä. |
|---|---|
| Lähde | Oma teos |
| Päiväys | 9.9.2009 |
| Tekijä(t) |
Kari Iltanen |
Diplomityötäni varten tekemäni kaavio kryogeenisesta DRIe-prosessista, viimeisin muokkaus 9.9.2009.
Käyttöoikeus
Minä, tämän työn tekijänoikeuksien haltija, julkaisen työni seuraavilla lisensseillä:
|
